Plasmareinigung
Im Niederdruck-Plasmaverfahren wird Sauerstoff im Vakuum durch Energiezufuhr angeregt. Es bilden sich Sauerstoffradikale (O) und Ozon (O2). Reaktive Rückstände (Öle, Fette,…) werden oxidiert und als Gas (CO, CO2 , H2O oder Stäube) entfernt.